近期，來自復旦大學國家重點實驗室的一個團隊在科學期刊網(wǎng)站發(fā)表了一篇名為“Development of Broadband High-Frequency Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Array”研究報告，該報告為通過在PMUT(壓電微機械超聲換能器)中添加以PDMS(聚二甲基硅氧烷)為襯底材料的背襯層使得在不改變元件尺寸大小的情況下讓器件的帶寬加倍。壓電薄膜材料是PMUT器件中的核心零部件，而此項研究實驗中的壓電薄膜材料正是來自我司——卓膜科技有限公司。卓膜科技研發(fā)團隊在其提供的硅基襯底上進行“電極材料（Ti/Pt）”和“PZT(鋯鈦酸鉛)壓電薄膜”沉積。PZT壓電薄膜在通電后會產(chǎn)生形變和超聲脈沖，實驗正是利用其這特性完成。在此實驗中，使用 10 ns 長的 30 V 脈沖對器件進行測試，在空氣中，PMUT 的諧振頻率為 19.0 MHz。PZT壓電薄膜在此次實驗中展現(xiàn)出穩(wěn)定性好，耐高壓，反應靈敏等優(yōu)點。

現(xiàn)有研究發(fā)現(xiàn)使用PMUT成像比傳統(tǒng)B超超聲成像優(yōu)勢更大。傳統(tǒng)B超需要涂潤滑劑排除器械與皮膚之間的空氣，探頭大且只有一個探頭，需要來回掃描，而PMUT是多陣列技術(shù)則可以消除空氣影響直接使用，探頭小且擁有多個，只需一次掃描就可完成，用時更快更短；PMUT可以制作成為手持無線設備，影像直接傳輸?shù)绞謾C或其他設備，傳輸模式更方便快捷；PMUT器械比傳統(tǒng)B超更小，使用的電源小，方便攜帶，便利性更高。未來有很好的發(fā)展前景。卓膜科技可以在PMUT中提供材料和相關(guān)技術(shù)支持。

下面為摘自原文圖3中的PMUT多陣列圖：

摘自原文圖3