壓電薄膜材料的性能分別有以下幾點:1、介電常數(shù),雖然壓電薄膜為單晶薄膜或者為擇優(yōu)取向的多晶薄膜,但是在其中的原子堆積卻不像在晶體中那樣緊密和有序,因此壓電薄膜的介電常數(shù)值與晶體的數(shù)值有差異。除此之外,還有在薄膜中常有的較大的殘留內(nèi)應(yīng)力以及測量上的原因,也導(dǎo)致薄膜的介電常數(shù)值不同于晶體的相應(yīng)數(shù)值。